PECVD SiO2-SiNx叠层钝化膜的研究&nbsp;

PECVD SiO₂-SiN_x叠层钝化膜的研究

韩培育，季静佳，王振交，等

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ISSN 0254-0096　CN 11-2082/K

太阳能学报 ›› 2010, Vol. 31 ›› Issue (12) : 1549-1552.

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PECVD SiO₂-SiN_x叠层钝化膜的研究

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韩培育，季静佳，王振交，等. PECVD SiO₂-SiN_x叠层钝化膜的研究 [J]. 太阳能学报. 2010, 31(12): 1549-1552

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