直流磁控溅射制备太阳光谱选择性吸收TiN薄膜

付淑英

太阳能学报 ›› 2010, Vol. 31 ›› Issue (9) : 1146-1149.

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付淑英. 直流磁控溅射制备太阳光谱选择性吸收TiN薄膜[J]. 太阳能学报. 2010, 31(9): 1146-1149

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