退火气氛对Al-F共掺杂ZnO薄膜结构和光电性能的影响

退火气氛对Al-F共掺杂ZnO薄膜结构和光电性能的影响

马瑞新，王海峰，王目孔，等

太阳能学报 ›› 2011, Vol. 32 ›› Issue (1) : 49-53.

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ISSN 0254-0096　CN 11-2082/K

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退火气氛对Al-F共掺杂ZnO薄膜结构和光电性能的影响

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马瑞新，王海峰，王目孔，等. 退火气氛对Al-F共掺杂ZnO薄膜结构和光电性能的影响 [J]. 太阳能学报. 2011, 32(1): 49-53

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