PECVD法SiN<sub><em>x</em></sub>:H薄膜减反钝化特性研究

PECVD法SiN_x:H薄膜减反钝化特性研究

曹晓宁，周春兰，赵雷，等

太阳能学报 ›› 2011, Vol. 32 ›› Issue (10) : 1431-1435.

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ISSN 0254-0096　CN 11-2082/K

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PECVD法SiN_x:H薄膜减反钝化特性研究

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曹晓宁，周春兰，赵雷，等. PECVD法SiN_x:H薄膜减反钝化特性研究[J]. 太阳能学报. 2011, 32(10): 1431-1435

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