玻璃衬底和硅衬底沉积TZO透明导电薄膜的对比研究

玻璃衬底和硅衬底沉积TZO透明导电薄膜的对比研究

刘汉法，张化福，袁玉珍，等

太阳能学报 ›› 2011, Vol. 32 ›› Issue (4) : 486-489.

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ISSN 0254-0096　CN 11-2082/K

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玻璃衬底和硅衬底沉积TZO透明导电薄膜的对比研究

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刘汉法，张化福，袁玉珍，等. 玻璃衬底和硅衬底沉积TZO透明导电薄膜的对比研究[J]. 太阳能学报. 2011, 32(4): 486-489

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