中频磁控溅射制备非晶硅薄膜的工艺研究及表征

中频磁控溅射制备非晶硅薄膜的工艺研究及表征

林杨欢，李明华，沈辉

太阳能学报 ›› 2012, Vol. 33 ›› Issue (2) : 277-282.

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ISSN 0254-0096　CN 11-2082/K

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中频磁控溅射制备非晶硅薄膜的工艺研究及表征

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林杨欢，李明华，沈辉. 中频磁控溅射制备非晶硅薄膜的工艺研究及表征[J]. 太阳能学报. 2012, 33(2): 277-282

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