磁控溅射法制备ZnO薄膜的工艺与性能研究

磁控溅射法制备ZnO薄膜的工艺与性能研究

栾和新，庄大明

太阳能学报 ›› 2013, Vol. 34 ›› Issue (10) : 1728-1733.

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ISSN 0254-0096　CN 11-2082/K

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磁控溅射法制备ZnO薄膜的工艺与性能研究

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栾和新，庄大明. 磁控溅射法制备ZnO薄膜的工艺与性能研究[J]. 太阳能学报. 2013, 34(10): 1728-1733

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