衬底温度对AZO薄膜结构和光电性能影响的研究

衬底温度对AZO薄膜结构和光电性能影响的研究

王治安，王军生，韩大凯，等

太阳能学报 ›› 2013, Vol. 34 ›› Issue (2) : 223-226.

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ISSN 0254-0096　CN 11-2082/K

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衬底温度对AZO薄膜结构和光电性能影响的研究

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王治安，王军生，韩大凯，等. 衬底温度对AZO薄膜结构和光电性能影响的研究[J]. 太阳能学报. 2013, 34(2): 223-226

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