PECVD非晶硅薄膜沉积三维热流场数值模拟

PECVD非晶硅薄膜沉积三维热流场数值模拟

李桂琴，陆利新，金国军等

太阳能学报 ›› 2013, Vol. 34 ›› Issue (6) : 1021-1027.

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ISSN 0254-0096　CN 11-2082/K

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PECVD非晶硅薄膜沉积三维热流场数值模拟

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李桂琴，陆利新，金国军等. PECVD非晶硅薄膜沉积三维热流场数值模拟[J]. 太阳能学报. 2013, 34(6): 1021-1027

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