闭环控制靶电压直流磁控反应溅射沉积AlN薄膜

闭环控制靶电压直流磁控反应溅射沉积AlN薄膜

池华敬，郭帅，熊凯等

太阳能学报 ›› 2013, Vol. 34 ›› Issue (7) : 1136-1140.

欢迎访问《太阳能学报》官方网站，今天是

ISSN 0254-0096　CN 11-2082/K

太阳能学报 ›› 2013, Vol. 34 ›› Issue (7) : 1136-1140.

论文

闭环控制靶电压直流磁控反应溅射沉积AlN薄膜

作者信息 +

文章历史 +

引用本文

导出引用

池华敬，郭帅，熊凯等. 闭环控制靶电压直流磁控反应溅射沉积AlN薄膜[J]. 太阳能学报. 2013, 34(7): 1136-1140

Accesses

Citation

Detail

段落导航

相关文章

/

〈

〉