溅射功率对Mg<sub>0.2</sub>Zn<sub>0.8</sub> O:Al紫外透明导电薄膜结构与性能的影响

溅射功率对Mg_0.2Zn_0.8 O:Al紫外透明导电薄膜结构与性能的影响

王华，燕红，黄竹等

太阳能学报 ›› 2013, Vol. 34 ›› Issue (8) : 1317-1322.

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ISSN 0254-0096　CN 11-2082/K

太阳能学报 ›› 2013, Vol. 34 ›› Issue (8) : 1317-1322.

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溅射功率对Mg_0.2Zn_0.8 O:Al紫外透明导电薄膜结构与性能的影响

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王华，燕红，黄竹等. 溅射功率对Mg_0.2Zn_0.8 O:Al紫外透明导电薄膜结构与性能的影响[J]. 太阳能学报. 2013, 34(8): 1317-1322

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