基底及HMVF层厚度变化对NbSiN/NbSiNO/Si<sub>3</sub>N<sub>4</sub> 涂层光学性能的影响

基底及HMVF层厚度变化对NbSiN/NbSiNO/Si₃N₄ 涂层光学性能的影响

谢万峰，闫金良，刘宇等

太阳能学报 ›› 2014, Vol. 35 ›› Issue (1) : 145-148.

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ISSN 0254-0096　CN 11-2082/K

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基底及HMVF层厚度变化对NbSiN/NbSiNO/Si₃N₄ 涂层光学性能的影响

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谢万峰，闫金良，刘宇等. 基底及HMVF层厚度变化对NbSiN/NbSiNO/Si₃N₄ 涂层光学性能的影响[J]. 太阳能学报. 2014, 35(1): 145-148

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