衬底及其温度对铝诱导非晶硅薄膜晶化的影响

衬底及其温度对铝诱导非晶硅薄膜晶化的影响

段良飞，张力元，杨培志，等

太阳能学报 ›› 2015, Vol. 36 ›› Issue (7) : 1556-1560.

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ISSN 0254-0096　CN 11-2082/K

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衬底及其温度对铝诱导非晶硅薄膜晶化的影响

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段良飞，张力元，杨培志，等. 衬底及其温度对铝诱导非晶硅薄膜晶化的影响[J]. 太阳能学报. 2015, 36(7): 1556-1560

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