&nbsp;CO2/SiH4气体流量比对氢化硅氧（SiOx：H）薄膜微结构和光学特性的影响

CO₂/SiH₄气体流量比对氢化硅氧（SiO_x：H）薄膜微结构和光学特性的影响

刘小娇，施光辉，涂晔，等

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太阳能学报 ›› 2018, Vol. 39 ›› Issue (1) : 149-153.

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CO₂/SiH₄气体流量比对氢化硅氧（SiO_x：H）薄膜微结构和光学特性的影响

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刘小娇，施光辉，涂晔，等. CO₂/SiH₄气体流量比对氢化硅氧（SiO_x：H）薄膜微结构和光学特性的影响[J]. 太阳能学报. 2018, 39(1): 149-153

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