&nbsp;RF-PECVD制备硼掺杂氢化非晶硅氧（a-SiOx:H）薄膜及其光电特性研究

RF-PECVD制备硼掺杂氢化非晶硅氧（a-SiO_x:H）薄膜及其光电特性研究

刘小娇, 施光辉, 殷俊传, 等

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太阳能学报 ›› 2018, Vol. 39 ›› Issue (6) : 1646-1650.

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RF-PECVD制备硼掺杂氢化非晶硅氧（a-SiO_x:H）薄膜及其光电特性研究

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刘小娇, 施光辉, 殷俊传, 等. RF-PECVD制备硼掺杂氢化非晶硅氧（a-SiO_x:H）薄膜及其光电特性研究[J]. 太阳能学报. 2018, 39(6): 1646-1650

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