H<sub>2</sub>O和O<sub>3</sub>对热原子层沉积Al<sub>2</sub>O<sub>3</sub>薄膜性能研究

H₂O和O₃对热原子层沉积Al₂O₃薄膜性能研究

李士正, 许佳辉, 叶晓军, 等

太阳能学报 ›› 2021, Vol. 42 ›› Issue (4) : 223-228.

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ISSN 0254-0096　CN 11-2082/K

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H₂O和O₃对热原子层沉积Al₂O₃薄膜性能研究

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李士正, 许佳辉, 叶晓军, 等. H₂O和O₃对热原子层沉积Al₂O₃薄膜性能研究[J]. 太阳能学报. 2021, 42(4): 223-228

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