水掺杂对臭氧基原子层沉积二氧化硅钝化特性研究

水掺杂对臭氧基原子层沉积二氧化硅钝化特性研究

李士正, 许佳辉, 叶晓军, 柳翠, 袁晓, 李红波

太阳能学报 ›› 2021, Vol. 42 ›› Issue (9) : 70-74.

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ISSN 0254-0096　CN 11-2082/K

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水掺杂对臭氧基原子层沉积二氧化硅钝化特性研究

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李士正, 许佳辉, 叶晓军, 柳翠, 袁晓, 李红波. 水掺杂对臭氧基原子层沉积二氧化硅钝化特性研究[J]. 太阳能学报. 2021, 42(9): 70-74

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