双层SiN<em><sub>x</sub></em>:H减反膜多晶硅太阳电池及其组件性能研究

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ISSN 0254-0096　CN 11-2082/K

双层SiN_x:H减反膜多晶硅太阳电池及其组件性能研究

石强，单伟，胡金艳，等

太阳能学报 . 2015, (1): 108 -112 .