β-Si<sub>3</sub>N<sub>4</sub>涂层抗脱落性及对高效多晶硅性能的影响

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ISSN 0254-0096　CN 11-2082/K

β-Si₃N₄涂层抗脱落性及对高效多晶硅性能的影响

黄金亮, 李永乐, 李飞龙, 等

太阳能学报 . 2017, (12): 3271 -3275 .