AlO<sub><em>x</em></sub>N<sub><em>y</em></sub>涂层微观结构及光学性质研究

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ISSN 0254-0096　CN 11-2082/K

AlO_xN_y涂层微观结构及光学性质研究

许英朝, 常永笑, 林洪沂, 等

太阳能学报 . 2018, (2): 491 -495 .