氮氩比对AlN<sub><em>x</em></sub>薄膜微观结构与光学性质的影响

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ISSN 0254-0096　CN 11-2082/K

氮氩比对AlN_x薄膜微观结构与光学性质的影响

杜淼，郝雷，刘晓鹏，等

太阳能学报 . 2011, (11): 1710 -1713 .