三维还原炉内多晶硅化学气相沉积的数值模拟

三维还原炉内多晶硅化学气相沉积的数值模拟

张攀，王伟文，范军领，等

太阳能学报 ›› 2012, Vol. 33 ›› Issue (3) : 511-516.

欢迎访问《太阳能学报》官方网站，今天是

ISSN 0254-0096　CN 11-2082/K

太阳能学报 ›› 2012, Vol. 33 ›› Issue (3) : 511-516.

论文

三维还原炉内多晶硅化学气相沉积的数值模拟

作者信息 +

文章历史 +

引用本文

导出引用

张攀，王伟文，范军领，等. 三维还原炉内多晶硅化学气相沉积的数值模拟[J]. 太阳能学报. 2012, 33(3): 511-516

Accesses

Citation

Detail

段落导航

相关文章

/

〈

〉