欢迎访问《太阳能学报》官方网站，今天是
太阳能学报
闭环控制靶电压直流磁控反应溅射沉积AlN薄膜
池华敬，郭帅，熊凯 等
太阳能学报 . 2013, (7): 1136 -1140 . 

版权所有 © 《太阳能学报》编辑部　 本系统由北京玛格泰克科技发展有限公司设计开发