基底及HMVF层厚度变化对NbSiN/NbSiNO/Si<sub>3</sub>N<sub>4</sub> 涂层光学性能的影响

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ISSN 0254-0096　CN 11-2082/K

基底及HMVF层厚度变化对NbSiN/NbSiNO/Si₃N₄ 涂层光学性能的影响

谢万峰，闫金良，刘宇等

太阳能学报 . 2014, (1): 145 -148 .