CO<sub>2</sub>/SiH<sub>4</sub>气体流量比对氢化硅氧（SiO<sub><em>x</em></sub>：H）薄膜微结构和光学特性的影响

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ISSN 0254-0096　CN 11-2082/K

CO₂/SiH₄气体流量比对氢化硅氧（SiO_x：H）薄膜微结构和光学特性的影响

刘小娇，施光辉，涂晔，等

太阳能学报 . 2018, (1): 149 -153 .