RF-PECVD制备硼掺杂氢化非晶硅氧（a-SiO<sub><em>x</em></sub>:H）薄膜及其光电特性研究

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ISSN 0254-0096　CN 11-2082/K

RF-PECVD制备硼掺杂氢化非晶硅氧（a-SiO_x:H）薄膜及其光电特性研究

刘小娇, 施光辉, 殷俊传, 等

太阳能学报 . 2018, (6): 1646 -1650 .