PECVD法SiN<sub><em>x</em></sub>:H薄膜减反钝化特性研究

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ISSN 0254-0096　CN 11-2082/K

PECVD法SiN_x:H薄膜减反钝化特性研究

曹晓宁，周春兰，赵雷，等

太阳能学报 . 2011, (10): 1431 -1435 .