H<sub>2</sub>O和O<sub>3</sub>对热原子层沉积Al<sub>2</sub>O<sub>3</sub>薄膜性能研究

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ISSN 0254-0096　CN 11-2082/K

H₂O和O₃对热原子层沉积Al₂O₃薄膜性能研究

李士正, 许佳辉, 叶晓军, 等

太阳能学报 . 2021, (4): 223 -228 .