带有反时限保护的PECVD镀膜设备的研究

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ISSN 0254-0096　CN 11-2082/K

黄禹杰, 于文英, 刘永生, 卢武, 周桃

RESEARCH ON PECVD COATING EQUIPMENT WITH INVERSE-TIME LIMIT PROTECTION

Huang Yujie, Yu Wenying, Liu Yongsheng, Lu Wu, Zhou Tao

太阳能学报 . 2026, (4): 672 -678 . DOI: 10.19912/j.0254-0096.tynxb.2024-2194